納米位移臺(tái)之所以須進(jìn)行防震隔振，是因?yàn)樗墓ぷ骶确浅８?，通常在納米級(jí)甚至亞納米級(jí)別，任何微小的震動(dòng)都會(huì)直接干擾其正常運(yùn)行和定位精度。
下面是詳細(xì)原因解釋?zhuān)瑤椭銖脑砩侠斫鉃槭裁础胺勒稹睂?duì)納米位移臺(tái)至關(guān)重要：
一、納米級(jí)精度易被微振動(dòng)影響
納米位移臺(tái)常用于精密掃描、定位、對(duì)準(zhǔn)、成像等工作（如在原子力顯微鏡、掃描電鏡、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)中）。
當(dāng)位移精度要求在幾個(gè)納米以?xún)?nèi)時(shí)，地面輕微震動(dòng)、空調(diào)共振、人員走動(dòng)甚至說(shuō)話(huà)聲都可能引起足以干擾其工作的擾動(dòng)。
二、環(huán)境振動(dòng)的來(lái)源很多
地面微震：城市中的地基常常有持續(xù)的低頻微震（幾十 Hz 以下），容易傳到工作平臺(tái)上。
設(shè)備共振：周邊設(shè)備如空調(diào)、泵、壓縮機(jī)等產(chǎn)生的機(jī)械振動(dòng)，通過(guò)臺(tái)面或結(jié)構(gòu)件耦合進(jìn)系統(tǒng)。
人為因素：走路、敲擊操作臺(tái)、開(kāi)關(guān)門(mén)等，都會(huì)造成局部瞬時(shí)振動(dòng)。
三、振動(dòng)會(huì)引起的問(wèn)題
定位誤差：原本需要精準(zhǔn)移動(dòng) 10 nm，但因震動(dòng)疊加可能偏離目標(biāo)位置；
成像模糊或重影：尤其在掃描類(lèi)成像（如AFM、SEM、光學(xué)共聚焦）中會(huì)造成圖像模糊、條紋、漂移；
閉環(huán)控制不穩(wěn)定：反饋控制器會(huì)對(duì)非預(yù)期振動(dòng)做出反應(yīng)，導(dǎo)致系統(tǒng)過(guò)補(bǔ)償或振蕩；
掃描誤差放大：振動(dòng)會(huì)疊加在掃描信號(hào)上，出現(xiàn)“掃描偽影”或周期性誤差。
四、如何進(jìn)行防震隔振？
主動(dòng)隔振平臺(tái)：內(nèi)置傳感器和反饋機(jī)構(gòu)，實(shí)時(shí)補(bǔ)償震動(dòng)，適合高精度場(chǎng)合（如 STM、AFM）。
被動(dòng)氣浮隔振臺(tái)：通過(guò)氣囊和質(zhì)量塊隔離中低頻震動(dòng)，常見(jiàn)于光學(xué)桌、位移臺(tái)支架下方。
防震腳墊、隔震橡膠：簡(jiǎn)易場(chǎng)合下使用，能濾除高頻干擾；
控制環(huán)境源頭：讓設(shè)備遠(yuǎn)離震源（如機(jī)械泵），或者安排在地基穩(wěn)定、人員活動(dòng)少的區(qū)域。