很多納米位移臺本來就是為了 真空環(huán)境（包括高真空甚至超高真空） 設(shè)計的，但能不能直接放進你的真空腔體，要看具體型號和材料。一般需要注意以下幾點：
1. 材料與潤滑方式
真空兼容的位移臺會采用 低放氣率金屬材料（如不銹鋼、鈦、鋁合金），避免塑料或易揮發(fā)膠水。
傳統(tǒng)潤滑脂在真空中會揮發(fā)或污染，需要選用 干潤滑（石墨膜、MoS? 薄膜等） 或真空兼容的潤滑劑。
2. 驅(qū)動方式
壓電納米位移臺（Piezo stage）非常適合真空使用，因為它沒有傳統(tǒng)電機的摩擦副，真空兼容性好。
如果是電機驅(qū)動型，要用 真空兼容電機（步進或直流），并確保繞組和絕緣材料不會在真空中放氣。
3. 電纜與接頭
電纜需要用真空兼容絕緣層（如 Kapton 線），而不能用常見的 PVC。
真空穿墻接口須密封良好，避免漏氣。
4. 散熱問題
真空里沒有空氣對流，散熱主要靠 熱傳導(dǎo)和輻射，所以連續(xù)大功率運行的驅(qū)動器可能過熱。要確保位移臺與腔體壁良好接觸，以便導(dǎo)熱。
5. 清潔與預(yù)處理
進入真空腔前要對位移臺進行 清洗和烘烤，減少水汽和有機物放氣。