納米位移臺的滯回效應(yīng)本身是一種非線性誤差，但它在運(yùn)行過程中也會間接放大噪音。其作用機(jī)制主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
1. 驅(qū)動信號與實(shí)際位移不一致
滯回意味著輸入與輸出存在相位差和路徑依賴。控制器在閉環(huán)調(diào)節(jié)時(shí)會不斷修正，產(chǎn)生頻繁的小幅“超調(diào)—回拉”動作。這些快速的微調(diào)動作會引入高頻機(jī)械振動，從而表現(xiàn)為噪音。
2. 摩擦力與滯回的疊加效應(yīng)
在機(jī)械接觸副（導(dǎo)軌、絲杠或壓電陶瓷與支撐結(jié)構(gòu)）中，滯回會導(dǎo)致運(yùn)動不是平滑的，而是伴隨“卡頓—釋放”的非連續(xù)過程。摩擦力因此呈現(xiàn)突變形式，使得運(yùn)動過程中摩擦噪聲和沖擊噪聲被放大。
3. 共振與結(jié)構(gòu)放大
滯回效應(yīng)導(dǎo)致位移臺在低速掃描時(shí)容易出現(xiàn)周期性微小震蕩。這些震蕩如果頻率接近系統(tǒng)固有頻率，會激發(fā)共振。共振效應(yīng)不僅加劇噪音，還會加快導(dǎo)軌磨損。
4. 閉環(huán)控制增益過高的情況
在滯回顯著時(shí)，控制器為了跟蹤目標(biāo)位置會提高補(bǔ)償頻率。高頻補(bǔ)償信號施加到驅(qū)動器，會在機(jī)械結(jié)構(gòu)中轉(zhuǎn)化為周期性噪音。特別是在壓電驅(qū)動的位移臺中，這種“電控噪音 → 機(jī)械噪音”的放大尤為明顯。
5. 長時(shí)間運(yùn)行的累積效應(yīng)
滯回不僅帶來噪音放大，還會使?jié)櫥な軗p更快，磨損顆粒增加，形成“噪音—磨損—更多噪音”的惡性循環(huán)。