納米位移臺(tái)在高精度定位和掃描過(guò)程中，容易受到自身運(yùn)動(dòng)或外界振動(dòng)的干擾，導(dǎo)致微米級(jí)或納米級(jí)誤差。為了保證測(cè)量和操作的穩(wěn)定性，可以采取以下措施：
平滑加減速
避免突然啟動(dòng)或停止，在控制軟件中設(shè)置加速度/減速度 Ramp，可減少超調(diào)和機(jī)械共振。
降低移動(dòng)速度
高速移動(dòng)易產(chǎn)生振動(dòng)，精密掃描或定位盡量選擇低速模式。
減小外界振動(dòng)
使用減震平臺(tái)或橡膠墊，遠(yuǎn)離泵、風(fēng)扇等噪聲源，固定位移臺(tái)和樣品支架。
閉環(huán)控制
開(kāi)啟光柵或電容反饋，可實(shí)時(shí)修正位移誤差，降低環(huán)境干擾。
溫度管理
預(yù)熱位移臺(tái)至工作溫度，避免熱膨脹或零漂，實(shí)驗(yàn)室溫度保持穩(wěn)定。