納米位移臺在微步啟動時出現抖動，通常是由控制、機械和摩擦等因素共同引起的。
靜摩擦與動摩擦差異
初始微小運動需克服靜摩擦，摩擦力不均會導致抖動或跳動。
驅動器分辨率限制
步進或壓電驅動的最小步長與目標微位移接近時，控制器輸出可能不平滑，引發(fā)瞬態(tài)抖動。
控制參數設置不當
增益過高或濾波不足，會使微步響應過度補償，出現振蕩。
機械間隙或柔性
導軌、連接件或載荷偏心導致微小運動被放大，抖動明顯。
外界振動或載荷影響
臺面振動或負載質量變化，在微步運動階段易產生相對運動。