納米位移臺(tái)對(duì)溫度是比較敏感的，溫度變化往往會(huì)直接影響其定位精度和穩(wěn)定性。
首先是熱膨脹效應(yīng)。位移臺(tái)本體、導(dǎo)軌和安裝結(jié)構(gòu)在溫度變化時(shí)會(huì)發(fā)生微小膨脹或收縮，在納米級(jí)精度下，這種變化會(huì)直接表現(xiàn)為位置漂移或零點(diǎn)偏移。
其次是驅(qū)動(dòng)與傳感器受溫度影響。壓電驅(qū)動(dòng)、電機(jī)和位置傳感器在溫度變化時(shí)，其響應(yīng)特性和輸出信號(hào)會(huì)發(fā)生變化，導(dǎo)致控制誤差增大，尤其在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行或環(huán)境溫度波動(dòng)時(shí)更明顯。
第三是自發(fā)熱問(wèn)題。連續(xù)運(yùn)動(dòng)、高速掃描或長(zhǎng)時(shí)間通電，會(huì)使驅(qū)動(dòng)器和結(jié)構(gòu)產(chǎn)生熱量，形成局部溫升，引起緩慢漂移。
因此在使用中，通常需要控制環(huán)境溫度穩(wěn)定、減少氣流干擾、在正式測(cè)量前進(jìn)行預(yù)熱穩(wěn)定，并避免頻繁大幅度運(yùn)動(dòng)。對(duì)高精度應(yīng)用，還可通過(guò)閉環(huán)控制和溫漂補(bǔ)償來(lái)減小影響。
總體來(lái)說(shuō)，溫度對(duì)納米位移臺(tái)影響顯著，良好的溫控和使用習(xí)慣是保證精度和重復(fù)性的關(guān)鍵。