判斷納米位移臺(tái)是否需要重新校準(zhǔn)，通常依據(jù)以下幾個(gè)方面的表現(xiàn)和檢測(cè)指標(biāo)來評(píng)估： 一、位移精度下降或誤差超標(biāo) 重復(fù)定位誤差增大：同一位置多次定位結(jié)果不一致，超出廠商提供的重復(fù)精度范圍。 線性度變差：位移輸出與輸入指令不再呈現(xiàn)良好的線性關(guān)系，出現(xiàn)偏移或非線性失真。 出現(xiàn)系統(tǒng)漂移：在靜止?fàn)顟B(tài)下，反饋?zhàn)x數(shù)緩慢...

納米位移臺(tái)在同步掃描中的時(shí)間延遲是一個(gè)常見但影響成像或測(cè)量精度的問題。它可能來自驅(qū)動(dòng)器、控制系統(tǒng)、傳感器響應(yīng)，或軟件處理延時(shí)。想要補(bǔ)償這類延遲，關(guān)鍵在于提前建模、預(yù)測(cè)響應(yīng)并在控制邏輯中進(jìn)行校正。下面是幾種常用方法： 1. 前饋補(bǔ)償（Feedforward Compensation） 這是直接的方式： 在控制指令發(fā)出時(shí)，加入預(yù)...

減少納米位移臺(tái)在高速移動(dòng)中產(chǎn)生的慣性誤差（如位置偏移、振動(dòng)等）是提升系統(tǒng)精度和穩(wěn)定性的關(guān)鍵。以下是一些有效的減少慣性誤差的方法： 1. 優(yōu)化驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)性 高響應(yīng)性驅(qū)動(dòng)器：選擇高響應(yīng)性的驅(qū)動(dòng)器，如伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)、壓電驅(qū)動(dòng)器等，這些驅(qū)動(dòng)器能夠迅速反應(yīng)并調(diào)整運(yùn)動(dòng)方向，從而減少慣性帶來的誤差。 精準(zhǔn)控...

提高納米位移臺(tái)的動(dòng)態(tài)范圍（即系統(tǒng)能夠精確控制和測(cè)量的位移范圍）是提升其性能的一個(gè)重要方面。動(dòng)態(tài)范圍的提高通常意味著在保證高精度的同時(shí)，能夠處理更大范圍的位移。以下是一些常見的方法： 1. 優(yōu)化反饋控制系統(tǒng) 精細(xì)化控制：通過優(yōu)化閉環(huán)控制算法（如PID控制、模糊控制等），可以在小位移時(shí)保持高精度，同時(shí)保證在...

減少納米位移臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的振動(dòng)是保證其高精度、穩(wěn)定性和可靠性的關(guān)鍵，尤其在進(jìn)行精密成像、定位或掃描時(shí)。以下是一些減少振動(dòng)的有效方法： 一、優(yōu)化運(yùn)動(dòng)軌跡 平滑加速和減速 避免劇烈的加速和減速，因?yàn)檫@些變化容易引起瞬時(shí)高頻振動(dòng)。 使用S型加速/減速曲線，逐漸調(diào)整速度，避免陡峭的加速階段，減少由于慣性帶來...

納米位移臺(tái)在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中確實(shí)會(huì)出現(xiàn)漂移現(xiàn)象。這是高精度定位系統(tǒng)中的一個(gè)常見問題，尤其是在要求納米級(jí)穩(wěn)定性的應(yīng)用中（如掃描探針顯微鏡、曝光、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)等）。 一、什么是“漂移”？ “漂移”是指： 在沒有指令或控制信號(hào)變化的情況下，位移臺(tái)的輸出位置隨時(shí)間緩慢發(fā)生偏移。 它可能是幾納米/秒，也可能在數(shù)分鐘內(nèi)累積到...

納米位移臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)出現(xiàn)自激振蕩（self-excited oscillation），主要是因?yàn)橄到y(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性和反饋控制機(jī)制在高速度條件下激發(fā)了某些本征頻率或不穩(wěn)定模態(tài)。 我們來詳細(xì)解釋一下其中的原理、原因，以及如何預(yù)防這種現(xiàn)象： 一、什么是自激振蕩？ 自激振蕩是指： 系統(tǒng)內(nèi)部由于結(jié)構(gòu)特性或控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)不當(dāng)，在沒有外部周...

納米位移臺(tái)之所以須進(jìn)行防震隔振，是因?yàn)樗墓ぷ骶确浅８?，通常在納米級(jí)甚至亞納米級(jí)別，任何微小的震動(dòng)都會(huì)直接干擾其正常運(yùn)行和定位精度。 下面是詳細(xì)原因解釋，幫助你從原理上理解為什么“防震”對(duì)納米位移臺(tái)至關(guān)重要： 一、納米級(jí)精度易被微振動(dòng)影響 納米位移臺(tái)常用于精密掃描、定位、對(duì)準(zhǔn)、成像等工作（如在原子力...

納米位移臺(tái)在動(dòng)態(tài)掃描過程中會(huì)受到各種干擾因素引起的漂移誤差（drift error），例如溫度變化、機(jī)械松動(dòng)、控制延遲、電氣噪聲等。下面是一些系統(tǒng)性方法，用于減小漂移誤差，提升掃描精度和穩(wěn)定性： 一、控制層面：優(yōu)化控制系統(tǒng) 1. 使用閉環(huán)控制系統(tǒng) 配置電容式、應(yīng)變片或干涉儀等高分辨率傳感器，構(gòu)成閉環(huán)反饋； 實(shí)時(shí)修...

安裝納米位移臺(tái)時(shí)，對(duì)平臺(tái)的水平度有一定要求，這是為了保證其高精度定位性能和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。以下是常見的要求和建議： 一、平臺(tái)水平度的基本要求 水平度誤差建議小于 0.1 mm/m（或0.01°） 對(duì)于高精度納米位移系統(tǒng)，平臺(tái)表面應(yīng)盡量保持水平，以避免： 重力對(duì)運(yùn)動(dòng)部件產(chǎn)生橫向分量，影響精度； 造成負(fù)載不均，影響傳動(dòng)系統(tǒng)...