納米位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)出現(xiàn)不線性，意味著實(shí)際位移與控制指令不完全對(duì)應(yīng)，會(huì)影響精度和重復(fù)性，需要從控制、機(jī)械和環(huán)境多方面排查。
機(jī)械原因
導(dǎo)軌、螺桿或連接件存在間隙、磨損或偏心，容易導(dǎo)致非線性運(yùn)動(dòng)。
檢查機(jī)械部件，必要時(shí)清潔、緊固或更換。
驅(qū)動(dòng)與控制參數(shù)
步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器或壓電控制器增益、濾波不當(dāng)，會(huì)引起響應(yīng)非線性。
可通過調(diào)整控制增益、減小微步步長或優(yōu)化加速度曲線改善。
負(fù)載與慣性影響
非均勻或過重負(fù)載在啟動(dòng)、停止或方向切換時(shí)，會(huì)產(chǎn)生滯后或超調(diào)。
減輕負(fù)載或平衡重心，有助于改善線性度。
溫漂與環(huán)境因素
長時(shí)間運(yùn)行、摩擦熱或溫度變化會(huì)導(dǎo)致結(jié)構(gòu)膨脹，影響運(yùn)動(dòng)線性。
控制環(huán)境溫度或讓設(shè)備預(yù)熱穩(wěn)定，可減輕誤差。