納米位移臺在低速運動時出現(xiàn)爬行，是精密運動中很典型的問題，通常表現(xiàn)為走走停停、不連續(xù)，看起來不像“勻速”。原因主要集中在以下幾類。
首先是摩擦相關(guān)問題。低速時驅(qū)動力很小，容易反復卡在靜摩擦和動摩擦之間，出現(xiàn)典型的粘滑效應(yīng)。導軌、柔性結(jié)構(gòu)或接觸面摩擦不均勻，都會在低速下被放大，高速時反而不明顯。
其次是驅(qū)動器和控制分辨率限制。電機或壓電驅(qū)動在低速時，最小步進或最小電壓變化已經(jīng)接近系統(tǒng)分辨率，控制信號呈“臺階狀”，位移就會一跳一跳。控制器內(nèi)部的 DAC 精度不足，也會直接導致低速不連續(xù)。
再就是控制參數(shù)不合適。PID 增益偏低，系統(tǒng)在低速時糾偏能力不足，容易出現(xiàn)“推一下，停一下”的狀態(tài)。如果積分或前饋設(shè)置不合理，低速跟蹤時會反復修正，形成爬行。
壓電位移臺還常受材料本身特性影響。遲滯和蠕變在低速下非常明顯，電壓緩慢變化時，實際位移響應(yīng)并不線性，導致運動不平滑。
環(huán)境和安裝因素也會放大問題。線纜拖拽力、負載偏心、外部微振動，在低速階段對位移臺的影響遠大于高速掃描，容易表現(xiàn)為爬行或抖動。
改善方法上，優(yōu)先檢查并減小摩擦源，確保導軌和結(jié)構(gòu)狀態(tài)良好。適當提高低速段的驅(qū)動裕量，避免長時間工作在靜摩擦臨界區(qū)。優(yōu)化 PID 參數(shù)，增強低速跟蹤能力。對壓電臺，啟用遲滯補償或閉環(huán)控制效果明顯。同時注意線纜柔性和負載對稱，減少外界干擾。