納米位移臺(tái)在真空環(huán)境下的表現(xiàn)，和在空氣中相比往往是“明顯不一樣的”，而且這種變化既可能變好，也可能變差。
首先是摩擦和潤滑變化。進(jìn)入真空后，空氣阻尼消失，運(yùn)動(dòng)阻力減小，高頻響應(yīng)有時(shí)會(huì)更干脆。但同時(shí)，普通潤滑脂容易揮發(fā)或失效，摩擦系數(shù)反而變得不穩(wěn)定，低速爬行、方向切換遲滯更容易出現(xiàn)。
其次是真空放氣和污染問題。材料和潤滑劑在真空中放氣，會(huì)污染傳感器或樣品區(qū)，間接影響位移穩(wěn)定性和重復(fù)性，這在納米級(jí)定位時(shí)非常明顯。
溫度效應(yīng)會(huì)被放大。真空中幾乎沒有對(duì)流散熱，驅(qū)動(dòng)器和致動(dòng)器產(chǎn)生的熱量更難散出，結(jié)構(gòu)熱膨脹更集中，長時(shí)間掃描時(shí)容易出現(xiàn)緩慢漂移。
對(duì)壓電納米位移臺(tái)來說，遲滯和蠕變特性在真空中基本仍然存在，但由于環(huán)境更穩(wěn)定，有時(shí)短時(shí)間內(nèi)的噪聲會(huì)下降；相反，長期漂移可能更突出。
傳感器和電纜也會(huì)受到影響。電容式、應(yīng)變式傳感器在真空中一般可用，但對(duì)污染更敏感；線纜剛性在真空中表現(xiàn)更明顯，拖拽力對(duì)微小位移的影響會(huì)被放大。