壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF系列，通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有定位準(zhǔn)確，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后，可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF系列應(yīng)用：
1、電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)。
2、半導(dǎo)體芯片檢測(cè)。
3、光刻機(jī)工件臺(tái)。
4、微生物操縱手。
5、光纖焊接。
6、組裝。
7、檢測(cè)與測(cè)量。
8、高精度激光對(duì)焦。

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