選擇納米位移臺驅動方式 時，載荷特性（如 重量、慣性、剛性、精度要求、速度要求 等）起著關鍵作用。常見的驅動方式有 壓電驅動、電磁驅動、音圈驅動、螺桿驅動 等。以下是根據不同載荷特性選擇驅動方式的詳細指南:
1. 根據載荷重量選擇驅動方式
(1) 輕載 (< 100 g)
驅動: 壓電驅動 (Piezoelectric Drive)
原因:具有高精度 (亞納米級) 和快速響應能力。
適合輕載條件下的高頻微小運動。
典型應用: 光學對準、掃描探針顯微鏡 (SPM) 等。
(2) 中載 (100 g ~ 2 kg)
驅動:音圈驅動 (Voice Coil Drive): 適合中載和中等精度要求，響應速度快。
電磁驅動 (Electromagnetic Drive): 適合較長行程的中載荷，且有較高加速度。
原因:能承受一定質量的載荷而不失精度。
響應速度和行程都比壓電驅動更大。
典型應用: 生物成像、精密光學調節(jié)。
(3) 重載 (> 2 kg)
驅動:直線電機驅動 (Linear Motor Drive): 承載能力強，適合長行程、高速度應用。
滾珠螺桿驅動 (Ball Screw Drive): 適合重載和高精度要求，但響應速度較慢。
原因:高推力輸出，能有效應對重載和慣性問題。
典型應用: 精密加工設備、半導體制造設備。
2. 根據慣性特性選擇驅動方式
(1) 低慣性 (快速響應需求)
驅動: 壓電驅動、音圈驅動。
原因:壓電驅動可提供快速響應 (μs 級)。
音圈驅動有高加速度和響應速度。
典型應用: 激光加工、快速對焦系統(tǒng)。
(2) 高慣性 (平穩(wěn)移動需求)
驅動: 直線電機、滾珠螺桿驅動。
原因:直線電機能提供平滑的推力輸出。
滾珠螺桿驅動有自鎖功能，適合重載靜止。
典型應用: 精密搬運系統(tǒng)、大行程定位。
3. 根據精度要求選擇驅動方式
(1) 超高精度 (納米級及以下)
驅動: 壓電驅動。
原因:分辨率可達 0.1 nm，適合超高精度定位。
典型應用: 原子力顯微鏡 (AFM)、光纖對準。
(2) 高精度 (微米級)
驅動: 音圈驅動、電磁驅動。
原因:具備微米級分辨率，適合中等精度需求。
典型應用: 光學元件調節(jié)、顯微成像。
4. 根據速度要求選擇驅動方式
(1) 高速 (行程 > 10 mm/s)
驅動: 直線電機、音圈驅動。
原因:直線電機速度可達 數百 mm/s。
音圈驅動適合中短行程的高速運動。
典型應用: 半導體晶圓傳輸、自動化檢測。
(2) 低速 (行程 < 10 mm/s)
驅動: 壓電驅動、螺桿驅動。
原因:壓電驅動適合 納米級慢速微動。
螺桿驅動的低速穩(wěn)定性好。
典型應用: 微觀測量、裝配。
5. 根據行程要求選擇驅動方式
(1) 短行程 (< 1 mm)
驅動: 壓電驅動。
原因:短行程內提供高分辨率和穩(wěn)定性。
典型應用: 微操作、光纖耦合。
(2) 中長行程 (1 mm ~ 100 mm)
驅動: 音圈驅動、電磁驅動。
原因:行程范圍廣，且保持較高精度。
典型應用: 自動對焦、3D 打印平臺。
(3) 超長行程 (> 100 mm)
驅動: 直線電機、滾珠螺桿驅動。
原因:直線電機無行程限制，且高速。
滾珠螺桿適合高負載長行程。
典型應用: 晶圓傳送系統(tǒng)、加工設備。
以上就是卓聚科技提供的如何根據載荷特性選擇納米位移臺的驅動方式的介紹，更多關于位移臺的問題請咨詢