在 納米位移臺(tái) 的多軸控制中，跨軸誤差（Cross-Axis Error）是指一個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)對(duì)其他軸的影響，導(dǎo)致精度下降或運(yùn)動(dòng)軌跡偏離預(yù)定路徑?？巛S誤差通常由于系統(tǒng)的耦合效應(yīng)、機(jī)械誤差或電氣控制系統(tǒng)的問(wèn)題而產(chǎn)生。為了減少這些誤差，可以從 硬件設(shè)計(jì)、控制算法 和 補(bǔ)償技術(shù) 等多個(gè)方面著手。 以下是幾種常見(jiàn)的減少跨軸誤差的方...

納米位移臺(tái)（Nanopositioning Stage）在定位和運(yùn)動(dòng)控制過(guò)程中，可能會(huì)受到多種誤差源的影響，影響其定位精度和穩(wěn)定性。以下是常見(jiàn)的誤差源及其詳細(xì)解釋： 1. 源于機(jī)械結(jié)構(gòu)的誤差 1.1. 回程誤差（Backlash） 回程誤差是指在控制系統(tǒng)改變方向時(shí)，機(jī)械部件（如絲杠、齒輪、導(dǎo)軌等）因摩擦或間隙而導(dǎo)致的定位偏差。這種誤差...

確定納米位移臺(tái)的負(fù)載能力是設(shè)計(jì)和選擇適合的納米位移臺(tái)系統(tǒng)時(shí)必須考慮的重要因素。負(fù)載能力通常指的是位移臺(tái)在能夠保持高精度和穩(wěn)定性條件下所能承受的最大負(fù)載重量。以下是確定納米位移臺(tái)負(fù)載能力的主要考慮因素： 1. 負(fù)載類型 負(fù)載能力的確定首先要考慮所施加的負(fù)載類型。負(fù)載可以是： 靜態(tài)負(fù)載：即長(zhǎng)期靜止的物體，...

納米位移臺(tái) 在控制和定位應(yīng)用中，要求高定位精度。即使微小的誤差也會(huì)影響結(jié)果，因此，消除或減少誤差是設(shè)計(jì)和使用納米位移臺(tái)時(shí)須解決的關(guān)鍵問(wèn)題。通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)和應(yīng)用先進(jìn)的算法，可以提高位移臺(tái)的精度和穩(wěn)定性。以下是常見(jiàn)的設(shè)計(jì)方法和算法策略，旨在減少或消除納米位移臺(tái)中的誤差。 1. 設(shè)計(jì)層面的誤差消除方法 1.1. 結(jié)...

在納米級(jí)定位中，外部振動(dòng)對(duì) 納米位移臺(tái) 的影響是一個(gè)重要的挑戰(zhàn)，特別是在需要高精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用中（如 電子束顯微鏡（SEM）、納米加工、表面分析 和 定位）。為此，納米位移臺(tái)通常會(huì)采用被動(dòng)隔振或主動(dòng)隔振技術(shù)來(lái)減少外部振動(dòng)的干擾，確保系統(tǒng)的高精度和穩(wěn)定性。 1. 被動(dòng)隔振 被動(dòng)隔振 是通過(guò)物理結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)來(lái)減少...

在納米位移臺(tái)（nanopositioning stage）系統(tǒng)中，誤差通?？梢苑譃橄到y(tǒng)誤差（或稱為固定誤差）和隨機(jī)誤差。系統(tǒng)誤差通常是由硬件、控制系統(tǒng)或環(huán)境因素引起的，而隨機(jī)誤差則表現(xiàn)為不可預(yù)測(cè)的波動(dòng)，通常與噪聲和環(huán)境擾動(dòng)有關(guān)。 要分離這兩種誤差，可以采取以下方法： 1. 基于模型的誤差分離 系統(tǒng)誤差的建模： 通過(guò)對(duì)位移臺(tái)...