壓電二維納米位移臺，XYMF-133-100A平移臺實現(xiàn)了在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位，具有分辨率高，行程大（XY軸行程±50mm），帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單，定位準(zhǔn)確，能在真空下使用等優(yōu)點，可應(yīng)用于需要納米精度運動操作及定位的各個領(lǐng)域。

壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作，并且在宏觀行程范圍內(nèi)同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)閉環(huán)控制。

XYMF-133-100A技術(shù)參數(shù)