納米位移臺在做直線運動時出現(xiàn)偏移，是典型的精密運動誤差問題，通常不是單一原因，而是機械、控制和環(huán)境因素共同作用的結(jié)果?？梢詮囊韵聨讉€角度分析和處理：
機械因素
導軌或絲桿間隙：機械間隙、回差或?qū)к壊黄街?，會導致臺體在正向移動時偏離理想直線。
柔性鉸鏈或支撐結(jié)構變形：載荷、慣性或臺體重量造成微小彎曲，尤其在長行程或高速運動時更明顯。
摩擦不均：正反方向摩擦力不同，運動時容易出現(xiàn)微小偏移。
控制因素
閉環(huán)控制不足：如果是開環(huán)驅(qū)動，控制器只按指令運動，不知道實際偏離，會直接導致直線偏移。
PID 參數(shù)不合適：增益過低或積分/微分設置不合理，會讓控制系統(tǒng)無法及時糾正橫向偏差。
耦合效應：多軸位移臺間存在交叉耦合，例如 X 運動引起 Y 方向微動，需要軟件補償或多軸校準。
環(huán)境因素
溫度變化：臺體或支撐件熱膨脹，長行程運動時偏移累積。
外部振動：微振動或桌面抖動會疊加到微米/納米級運動上，表現(xiàn)為直線偏移。
負載偏心：樣品重量或抓取裝置偏心，會讓臺體沿不受力方向微偏。
解決方法
機械優(yōu)化：檢查導軌、絲桿、鉸鏈，減小間隙和摩擦不均；保證載荷居中，支撐剛性足夠。
控制優(yōu)化：啟用閉環(huán)控制，調(diào)節(jié) PID 參數(shù)，增加前饋或耦合補償。
環(huán)境控制：保持恒溫、防振、減少外界擾動。
標定與補償：通過標定直線軌跡，建立誤差補償表或軟件補償，針對特定行程修正偏移。