納米位移臺(tái)初次使用前必須進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保運(yùn)動(dòng)精度、重復(fù)性和系統(tǒng)可靠性。正確的校準(zhǔn)步驟可避免長(zhǎng)期使用中的累積誤差。
機(jī)械檢查
檢查導(dǎo)軌、螺桿或壓電驅(qū)動(dòng)器是否清潔、無(wú)異物。
確認(rèn)緊固件、支撐件穩(wěn)固，無(wú)松動(dòng)或偏心。
電氣與控制檢查
確認(rèn)電源、控制器、傳感器連接正常，信號(hào)無(wú)噪聲。
檢查閉環(huán)反饋系統(tǒng)是否啟用且響應(yīng)正常。
零位設(shè)定
將位移臺(tái)移動(dòng)到機(jī)械或光學(xué)零位（Home），確保各軸原點(diǎn)對(duì)應(yīng)控制器坐標(biāo)零點(diǎn)。
范圍與極限測(cè)試
緩慢移動(dòng)各軸至最大行程，確認(rèn)無(wú)卡滯、超程或異常摩擦。
測(cè)量各軸實(shí)際行程與標(biāo)稱行程是否一致。
速度與加速度校準(zhǔn)
設(shè)置初始低速移動(dòng)，觀察響應(yīng)平穩(wěn)性。
逐步增加速度和加速度，確保運(yùn)動(dòng)連續(xù)且無(wú)振蕩。
反饋與重復(fù)性驗(yàn)證
選擇參考點(diǎn)，進(jìn)行多次往返移動(dòng)，記錄位移反饋值，計(jì)算重復(fù)定位誤差。
必要時(shí)調(diào)整閉環(huán)增益或?yàn)V波參數(shù)，以優(yōu)化重復(fù)精度。
環(huán)境與載荷確認(rèn)
確認(rèn)安裝環(huán)境穩(wěn)定，振動(dòng)小。
初次校準(zhǔn)時(shí)使用標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載或無(wú)負(fù)載，以減少慣性和摩擦誤差影響。